Name: rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)
Price: 111257.00 CRC
Availability: InStock
Author: hesketh,borisenko
ISBN: 9780306450549

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portada rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)

rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Autor

hesketh,borisenko

Idioma

Inglés

N° páginas

380

ISBN

0306450542

ISBN13

9780306450549

Categorías

Dispositivos y materiales electrónicos

rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)

Hesketh,Borisenko (Autor) · Springer · Libro Físico

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Reseña del libro "rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)"

rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. borisenko and hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. they thoroughly cover the work of international investigators in the field.